会议论文《电子束沉积In2O3基W、Mo共掺薄膜及其特性研究》介绍了通过电子束沉积技术制备In2O3基W、Mo共掺薄膜的方法，并对其结构和光电性能进行了研究。该研究旨在探索新型透明导电薄膜的制备工艺与性能优化，为光伏器件的应用提供理论依据和技术支持。
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