会议论文《电容式加速度传感器的压膜阻尼分析与设计》探讨了电容式加速度传感器中压膜阻尼效应的原理及其对传感器性能的影响。文章通过理论分析与实验验证,提出优化压膜阻尼设计的方法,以提高传感器的灵敏度和稳定性。该研究对于改善微机电系统(MEMS)传感器的动态响应特性具有重要意义,为相关领域的设计与应用提供了参考依据。
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