会议论文《热丝CVD制备纳米晶SiC薄膜及其在太阳能电池中的应用》介绍了采用热丝化学气相沉积技术制备纳米晶碳化硅薄膜的方法。该研究探讨了薄膜的结构特性及其在太阳能电池中的潜在应用,为高效、低成本的光伏材料开发提供了新思路。
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