会议论文《激光刻蚀ITO薄膜工艺研究》发表于2010全国玻璃技术交流研讨会,主要探讨了利用激光技术对ITO薄膜进行刻蚀的工艺参数与效果。文章分析了激光功率、扫描速度等关键因素对刻蚀质量的影响,为提高透明导电膜的加工精度提供了理论依据和技术支持。
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