溅射气压对钛酸铋铁电薄膜的影响 - 第十二届全国固体薄膜会议.pdf

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2026-1-11 05:14 | 查看全部 阅读模式

会议论文《溅射气压对钛酸铋铁电薄膜的影响》发表于第十二届全国固体薄膜会议。该研究探讨了不同溅射气压条件下制备的钛酸铋铁电薄膜的结构与性能变化。通过分析薄膜的晶体结构、表面形貌及铁电特性,发现溅射气压对薄膜质量有显著影响。适当调整气压可优化薄膜的致密性和铁电性能,为高性能铁电材料的制备提供了理论依据和技术参考。

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溅射气压对钛酸铋铁电薄膜的影响 - 第十二届全国固体薄膜会议
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