会议论文《浅析纯水生产过程中离子交换树脂的处理》发表于2010年全国半导体器件技术研讨会。文章主要探讨了在纯水制备过程中，离子交换树脂的应用与处理方法。通过分析树脂的性能及再生过程，提出了优化纯水生产的建议，对提升半导体制造中的水质控制具有重要意义。
文档为pdf格式，0.5MB，总共5页。
举报
