新型共路激光干涉技术及其亚纳米级位移测量系统的研究 - 第二届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会.pdf

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2026-1-11 04:08 | 查看全部 阅读模式

会议论文《新型共路激光干涉技术及其亚纳米级位移测量系统的研究》介绍了基于共路激光干涉的高精度位移测量方法。该研究通过优化光学路径设计,提高了系统的稳定性和灵敏度,实现了亚纳米级的位移检测。论文为纳米技术领域的精密测量提供了新的技术思路和应用前景。

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新型共路激光干涉技术及其亚纳米级位移测量系统的研究 - 第二届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会
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