会议论文《新型共路激光干涉技术及其亚纳米级位移测量系统的研究》介绍了基于共路激光干涉的高精度位移测量方法。该研究通过优化光学路径设计,提高了系统的稳定性和灵敏度,实现了亚纳米级的位移检测。论文为纳米技术领域的精密测量提供了新的技术思路和应用前景。
文档为pdf格式,0.59MB,总共10页。
举报