会议论文《批量生产的微晶硅薄膜沉积技术_一室多片、高均匀度和微晶成分可调》介绍了用于大规模生产微晶硅薄膜的新工艺。该技术实现了在同一反应室内同时沉积多片基板，提高了生产效率。同时，通过优化工艺参数，显著提升了薄膜的均匀性和微晶成分的可控性，为高效光伏器件的制备提供了技术支持。
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