多晶硅中杂质元素B、P的来源分析 - 第19届全国铁合金学术研讨会.pdf

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2026-1-11 03:12 | 查看全部 阅读模式

会议论文《多晶硅中杂质元素B、P的来源分析》发表于第19届全国铁合金学术研讨会,主要探讨了多晶硅中硼(B)和磷(P)杂质的来源问题。文章通过实验分析,揭示了在多晶硅生产过程中,B、P杂质可能来自原料、冶炼环境及设备等不同环节,为提高多晶硅纯度提供了理论依据和技术参考。

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多晶硅中杂质元素B、P的来源分析 - 第19届全国铁合金学术研讨会
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