基于空间材料二次电子发射系数自动测试系统 - 2010年全国半导体器件技术研讨会.pdf

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2026-1-11 03:00 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于空间材料二次电子发射系数自动测试系统》介绍了用于测量空间材料二次电子发射系数的自动化测试系统。该系统提高了测试效率和精度,适用于半导体器件的性能评估。文章详细描述了系统的结构设计与实现方法,为相关领域的研究提供了参考依据。

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基于空间材料二次电子发射系数自动测试系统 - 2010年全国半导体器件技术研讨会
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