会议论文《坨面形状对CVD合成石英玻璃沉积速率的影响》探讨了不同形状的坨面对化学气相沉积（CVD）过程中石英玻璃沉积速率的影响。研究通过实验分析，发现坨面形状对气体流动和反应物分布有显著影响，进而影响沉积速率和产品质量。该成果为优化CVD工艺提供了理论依据和技术支持。
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