会议论文《反应气体流量对大面积p型微晶硅窗口层材料性能的影响》探讨了在制备大面积p型微晶硅窗口层过程中,反应气体流量对材料性能的影响。研究通过实验分析不同气体流量下的薄膜特性,如电导率、光学性能及结构质量,为优化制备工艺提供了理论依据和技术支持,对提升光伏器件效率具有重要意义。
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