一种优化的多晶硅扩散工艺 - 第十一届中国光伏大会暨展览会.pdf

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2026-1-11 00:54 | 查看全部 阅读模式

会议论文《一种优化的多晶硅扩散工艺 - 第十一届中国光伏大会暨展览会》介绍了针对多晶硅生产中扩散工艺的改进方法。该研究通过优化温度曲线和气体流量,提高了扩散效率与产品质量,降低了能耗。论文为光伏产业提供了有效的技术参考,有助于提升多晶硅生产的经济性和环保性。

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一种优化的多晶硅扩散工艺 - 第十一届中国光伏大会暨展览会
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