会议论文《OPC用铝合金管隐性缺陷的原因分析》探讨了用于OPC(光刻工艺)设备的铝合金管在制造过程中出现的隐性缺陷问题。文章通过实验分析和数据对比,研究了材料成分、加工工艺及热处理等因素对隐性缺陷的影响,提出了优化建议以提高产品质量和可靠性,为相关领域的技术改进提供了理论依据。
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