会议论文《MEMS技术在集成加热功能的双模块湿度传感器中应用研究》探讨了微机电系统（MEMS）技术在湿度传感器中的创新应用。该研究结合了双模块结构与加热功能，提升了传感器的灵敏度和响应速度。文章介绍了传感器的设计原理、制造工艺及性能测试结果，为高精度湿度检测提供了新思路，适用于国防科技工业及环境监测等领域。
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