CVD法制备高纯钛过程中杂质Ni的行为研究 - 第十四届冶金反应工程学学术会议.pdf

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2026-1-11 00:18 | 查看全部 阅读模式

会议论文《CVD法制备高纯钛过程中杂质Ni的行为研究》在第十四届冶金反应工程学学术会议上发表。该研究探讨了在化学气相沉积(CVD)过程中镍杂质的引入机制及其对高纯钛质量的影响。通过实验分析,明确了镍在反应体系中的迁移路径和富集行为,为优化CVD工艺、提高钛产品的纯度提供了理论依据和技术支持。

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CVD法制备高纯钛过程中杂质Ni的行为研究 - 第十四届冶金反应工程学学术会议
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