会议论文《100keV质子辐照ITO薄膜微观机制与光学性能的研究》探讨了高能质子辐照对ITO薄膜微观结构及光学性质的影响。研究通过实验分析了辐照后薄膜的晶格缺陷、表面形貌变化以及透光率和电阻率等性能参数，揭示了质子辐照引起的材料性能退化机制，为ITO薄膜在辐射环境下的应用提供了理论依据。
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