会议论文《纳米级XY微定位平台的设计与研究》发表于2010年LMS中国用户大会，主要探讨了高精度微定位系统的设计与实现。文章详细介绍了平台的结构设计、驱动方式及控制策略，旨在提升定位精度至纳米级别。该研究对精密制造、半导体加工等领域具有重要应用价值，展示了我国在微机电系统领域的技术进步。
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