微倾斜悬臂梁力学特性研究与仿真分析 - 2010年全国机械行业可靠性技术学术交流会暨第四届可靠性工程分会第二次全体委员大会.pdf

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2026-1-10 22:46 | 查看全部阅读模式

会议论文《微倾斜悬臂梁力学特性研究与仿真分析》探讨了微机电系统中悬臂梁的力学行为，重点分析了其在微小倾斜角度下的应力与变形特性。通过有限元仿真方法，研究了不同结构参数对悬臂梁性能的影响，为微传感器和执行器的设计提供了理论依据和技术支持。

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