该会议论文介绍了基于铬膜玻璃的光刻精缩系统的研究与实现，旨在提高光刻工艺的精度和效率。通过分析铬膜玻璃在光刻过程中的特性，提出了优化的光刻精缩方案。研究结果表明，该系统能够有效提升光刻分辨率，为微电子制造提供了新的技术路径。
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