磁控溅射AZO薄膜表面形貌的探讨与优化 - 2013年中国玻璃行业年会暨技术研讨会.pdf

会议论文《磁控溅射AZO薄膜表面形貌的探讨与优化》探讨了通过磁控溅射技术制备AZO薄膜过程中影响其表面形貌的关键因素，并提出了优化方法。研究分析了工艺参数对薄膜结构和性能的影响，旨在提高AZO薄膜的均匀性和质量，为透明导电薄膜的应用提供理论支持和技术参考。

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磁控溅射AZO薄膜表面形貌的探讨与优化 - 2013年中国玻璃行业年会暨技术研讨会.pdf

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