基于Modelica的光刻机超精密工件台建模与仿真 - 湖北省机械工程学会机械设计与传动专委会暨武汉市机械设计与传动学会第21届学术年会.pdf

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2026-1-10 16:34 | 查看全部阅读模式

会议论文《基于Modelica的光刻机超精密工件台建模与仿真》探讨了利用Modelica语言对光刻机超精密工件台进行建模与仿真的方法。文章分析了工件台的动态特性，提出了高精度的仿真模型，为提升光刻机性能提供了理论支持和技术参考。该研究对于推动半导体制造装备的智能化和精准化具有重要意义。

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