驱动参数对等离子体平板光源特性的影响 - 第八届华东三省一市真空学术交流会.pdf

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2026-1-10 16:13 | 查看全部 阅读模式

会议论文《驱动参数对等离子体平板光源特性的影响》探讨了不同驱动参数对等离子体平板光源性能的影响。该研究在第八届华东三省一市真空学术交流会上发表,旨在优化等离子体光源的亮度、均匀性和稳定性。通过实验分析,作者揭示了驱动电压、频率及气体压力等因素对光源特性的具体影响,为相关领域的应用提供了理论依据和技术支持。

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驱动参数对等离子体平板光源特性的影响 - 第八届华东三省一市真空学术交流会
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