非FID技术进行高纯、超高纯气体中碳氢及三碳分析的技术革新 - 全国特种气体第十七次年会.pdf

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2026-1-10 16:06 | 查看全部 阅读模式

会议论文《非FID技术进行高纯、超高纯气体中碳氢及三碳分析的技术革新》介绍了采用非火焰离子化检测(FID)技术对高纯度气体中的碳氢化合物及三碳成分进行精确分析的新方法。该技术提高了检测灵敏度和选择性,适用于半导体、光伏等高科技领域对气体纯度的严格要求,推动了特种气体分析技术的发展。

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非FID技术进行高纯、超高纯气体中碳氢及三碳分析的技术革新 - 全国特种气体第十七次年会
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