离子源辅助EB-PVD法制备高阻隔SiOx膜的研究 - 中国感光学会第八届五次理事会暨2013年学术年会.pdf

会议论文《离子源辅助EB-PVD法制备高阻隔SiOx膜的研究》介绍了利用离子源辅助电子束物理气相沉积技术制备高性能SiOx薄膜的方法。该研究通过优化工艺参数，显著提高了薄膜的致密性和阻隔性能，为高阻隔材料的制备提供了新思路。

文档为pdf格式，0.66MB，总共4页。

离子源辅助EB-PVD法制备高阻隔SiOx膜的研究 - 中国感光学会第八届五次理事会暨2013年学术年会.pdf

文件大小:

675.84 KB

高速下载