会议论文《硅微尖锥场发射阴极的微纳加工工艺及性能优化研究》探讨了硅基微尖锥场发射阴极的制造技术与性能提升方法。文章介绍了基于微纳加工技术的制备流程，并分析了结构参数对发射性能的影响，提出了优化方案以提高场发射效率和稳定性。该研究对于发展高性能真空电子器件具有重要意义。
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