电真空器件氦质谱检漏技术中检漏平台和模具设计 - 中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会.pdf

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2026-1-10 14:56 | 查看全部阅读模式

会议论文《电真空器件氦质谱检漏技术中检漏平台和模具设计》探讨了在氦质谱检漏技术中，针对电真空器件的检漏平台与模具设计问题。文章分析了检漏过程中关键结构的设计原则与优化方法，旨在提高检漏效率与准确性。该研究对于提升电真空器件的密封性能具有重要意义，为相关领域的技术发展提供了理论支持与实践参考。

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