会议论文《氢在HWCVD低温外延多晶硅薄膜中的作用》探讨了氢气在低温度化学气相沉积（HWCVD）过程中对多晶硅薄膜生长的影响。研究分析了氢气浓度对薄膜结构和性能的调控作用，揭示了氢在改善晶体质量、减少缺陷方面的关键作用。该成果为高效、低成本制备多晶硅薄膜提供了理论支持，对光伏产业发展具有重要意义。
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