会议论文《有序纳米硅柱的湿敏性能研究》探讨了基于有序纳米硅柱结构的湿度传感器性能。该研究通过制备具有规则排列结构的纳米硅柱，分析其在不同湿度环境下的电学特性变化，验证了其作为高灵敏度湿度传感材料的潜力。研究成果为开发新型微型化、高性能湿度传感器提供了理论支持与实验依据。
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