扭转式NEMS静态Pull-in现象分析 - 中国电子学会电路与系统学会第二十四届年会.pdf

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2026-1-10 13:29 | 查看全部 阅读模式

会议论文《扭转式NEMS静态Pull-in现象分析》探讨了微电子机械系统中扭转结构在静电作用下的静态Pull-in效应。通过理论建模与仿真分析,研究揭示了结构参数对Pull-in电压的影响规律,为NEMS器件的设计与优化提供了重要参考。

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扭转式NEMS静态Pull-in现象分析 - 中国电子学会电路与系统学会第二十四届年会
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