会议论文《微型非蒸散吸气剂泵的研制及其在电真空器件生产中的应用》介绍了新型微型吸气剂泵的设计与开发。该研究针对电真空器件生产中的真空需求，提出了一种高效、稳定的非蒸散吸气剂泵方案。通过实验验证，该泵具有良好的吸气性能和较长的工作寿命，适用于高真空环境。研究成果为电真空器件制造提供了可靠的技术支持，具有重要的工程应用价值。
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