射频功率对透光P型非晶硅薄膜性能的影响 - 2013全国玻璃科学技术年会.pdf

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2026-1-10 13:10 | 查看全部 阅读模式

会议论文《射频功率对透光P型非晶硅薄膜性能的影响》发表于2013全国玻璃科学技术年会。该文研究了不同射频功率条件下制备的透光P型非晶硅薄膜的光电性能变化,分析了射频功率对薄膜结构和电学特性的影响,为优化非晶硅薄膜的制备工艺提供了理论依据和技术参考。

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射频功率对透光P型非晶硅薄膜性能的影响 - 2013全国玻璃科学技术年会
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