GBT 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

洁净室及相关受控环境第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁
Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part13:Cleaningofsurfacestoachievedefinedlevelsofcleanlinessintermsofparticleandchemicalclassifications

摘要:本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。本文件中的表面涉及所有表面（外表面、内表面）。本文件提供评估达到表面洁净度的粒子浓度（SCP）和表面化学洁净度的化学物浓度（SCC）洁净度的所需清洁方法，以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。

标准编号：GB/T25915.13-2022
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2022年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2023年1月1日
关键词：

GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁.pdf

2024-9-23 17:31 上传 GBT 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁.pdf

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