GBT 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分： 按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性

洁净室及相关受控环境第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性
Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part15:Assessmentofsuitabilityforuseofequipmentandmaterialsbyairbornechemicalconcentration

摘要:本文件规定了评定洁净室及相关受控环境中设备和材料的适用性要求，提供了指南。本文件不适用于以下内容：健康和安全要求；清洁剂及清洁技术的相容性；清洁性；生物污染；工艺和产品对设备和材料的特定要求；设备的设计细节。

标准编号：GB/T25915.15-2022
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2022年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2023年1月1日
关键词：

GB/T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分： 按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性.pdf

2024-9-23 17:31 上传 GBT 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分： 按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性.pdf

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