会议论文《双阴极等离子溅射金刚石显微结构研究》探讨了采用双阴极等离子溅射技术制备金刚石显微结构的工艺与性能。该研究为高性能金刚石材料的制备提供了新思路,对新材料科技发展具有重要意义。
文档为pdf格式,0.53MB,总共1页。
举报