不同镀膜方式制备非晶碳膜的结构与性能比较 - 2013全国玻璃科学技术年会.pdf

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2026-1-10 11:20 | 查看全部 阅读模式

会议论文《不同镀膜方式制备非晶碳膜的结构与性能比较》发表于2013全国玻璃科学技术年会。该文对比研究了多种镀膜方法制备的非晶碳膜的结构和性能差异,分析了不同工艺参数对膜层质量的影响,为优化非晶碳膜制备技术提供了理论依据和技术参考。

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不同镀膜方式制备非晶碳膜的结构与性能比较 - 2013全国玻璃科学技术年会
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