会议论文《一类新的金属氧化物薄膜气敏元件的开发》发表于2013年全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会。该文介绍了新型金属氧化物薄膜气敏元件的研究成果，重点探讨了其制备工艺、材料特性及对气体的敏感性能。研究旨在提升气敏元件的灵敏度和稳定性，为气体检测技术提供新思路。
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