会议论文《TUNING OF LED-on-Si IN A PLANETARY MOCVD REACTOR》介绍了在行星式MOCVD反应器中优化LED在硅衬底上生长的技术。该研究通过调整工艺参数,提高了LED的光电性能和均匀性,为高效率、低成本的LED制造提供了新思路。
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