TUNING OF LED-on-Si IN A PLANETARY MOCVD REACTOR - 第十届中国国际半导体照明论坛.pdf

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2026-1-10 11:03 | 查看全部 阅读模式

会议论文《TUNING OF LED-on-Si IN A PLANETARY MOCVD REACTOR》介绍了在行星式MOCVD反应器中优化LED在硅衬底上生长的技术。该研究通过调整工艺参数,提高了LED的光电性能和均匀性,为高效率、低成本的LED制造提供了新思路。

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TUNING OF LED-on-Si IN A PLANETARY MOCVD REACTOR - 第十届中国国际半导体照明论坛
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