Ni_V_4H-SiC欧姆接触电极制备与性能研究 - 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会.pdf

会议论文《Ni_V_4H-SiC欧姆接触电极制备与性能研究》探讨了在4H-SiC材料上制备Ni-V欧姆接触电极的工艺与性能。研究通过优化金属层结构和退火条件，提高了接触电阻的稳定性与均匀性，为高性能SiC器件的开发提供了重要参考。

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Ni_V_4H-SiC欧姆接触电极制备与性能研究 - 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会.pdf

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