会议论文《ECR-PLA铝_氮等离子体特性的光谱研究》探讨了电子回旋共振等离子体源（ECR-PLA）中铝和氮等离子体的光谱特性。该研究通过光谱分析方法，揭示了不同参数下等离子体的激发态和辐射特性，为等离子体应用提供了理论依据和技术支持。
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