DID氦离子化检测器对高纯硅烷的分析及探讨 - 全国特种气体第十七次年会.pdf

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2026-1-10 10:41 | 查看全部 阅读模式

会议论文《DID氦离子化检测器对高纯硅烷的分析及探讨》在全国特种气体第十七次年会上发表,重点研究了DID氦离子化检测器在高纯硅烷检测中的应用。文章详细分析了该检测器的灵敏度、选择性及稳定性,探讨了其在高纯气体分析中的优势与局限性,为高纯硅烷的准确检测提供了理论依据和技术支持。

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DID氦离子化检测器对高纯硅烷的分析及探讨 - 全国特种气体第十七次年会
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