会议论文《高纯三氟甲烷的制备工艺概述》介绍了高纯三氟甲烷在半导体产业中的重要应用及制备方法。文章总结了2014年之前相关工艺的发展现状，分析了不同合成路线的优缺点，并探讨了提纯技术的关键问题，为后续研究提供了参考依据。
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