转速对CZ法晶体生长影响的数值模拟 - 2014`全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会暨第七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会.pdf

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2026-1-10 08:43 | 查看全部阅读模式

会议论文《转速对CZ法晶体生长影响的数值模拟》探讨了旋转速度对直拉法（CZ法）晶体生长过程中温度场和流场的影响。通过数值模拟方法，研究了不同转速下熔体的流动特性及晶体生长质量的变化规律，为优化晶体生长工艺提供了理论依据。

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