会议论文《自组装单分子膜为钝化层实现选择性原子层沉积氧化锌的研究》探讨了利用自组装单分子膜作为钝化层，在特定区域实现氧化锌的选择性原子层沉积技术。该研究旨在提高氧化锌薄膜的均匀性和附着力，同时减少不必要的沉积，具有在微电子和光电子器件中的应用潜力。
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