会议论文《干法刻蚀设备对PR胶灰化能力研究》发表于2014年中国平板显示学术会议，主要探讨了干法刻蚀设备在PR胶灰化过程中的性能表现。文章分析了不同工艺参数对灰化效果的影响，为提高刻蚀精度和良率提供了理论依据和技术支持，对平板显示制造领域具有重要参考价值。
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