会议论文《TaN薄膜在微波薄膜匹配负载器件中的应用》探讨了TaN薄膜在微波器件中的性能优势,特别是在匹配负载方面的应用。该研究针对军事微波技术需求,分析了TaN薄膜的电学特性与稳定性,提出了其在高频率、高功率环境下优化器件性能的方案。论文为提升微波系统的效率和可靠性提供了理论支持和技术参考,对相关领域的工程实践具有重要意义。
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