会议论文《SPC在石英音叉陀螺光刻工艺中的应用》发表于第十三届全国敏感元件与传感器学术会议。该文探讨了统计过程控制（SPC）技术在石英音叉陀螺光刻工艺中的实际应用，旨在提高工艺稳定性与产品一致性。通过引入SPC方法，有效监控关键工艺参数，提升了光刻质量与器件性能。文章为微电子制造领域提供了有价值的参考，推动了高精度传感器制造技术的发展。
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