西门子多晶硅还原炉内化学气相沉积过程模拟研究 - 中国工程院化工、冶金与材料工程学部第九届学术会议.pdf

论文《西门子多晶硅还原炉内化学气相沉积过程模拟研究》针对多晶硅生产中的关键设备——还原炉，通过数值模拟方法研究了化学气相沉积过程。该研究有助于优化工艺参数，提高多晶硅产品质量和生产效率，对推动半导体材料制造技术发展具有重要意义。

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2025-12-14 22:07 上传 西门子多晶硅还原炉内化学气相沉积过程模拟研究 - 中国工程院化工、冶金与材料工程学部第九届学术会议.pdf

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