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振动传感器弹性梁MEMS结构设计及应力分析 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2025-12-14 21:48 | 查看全部阅读模式

论文《振动传感器弹性梁MEMS结构设计及应力分析》探讨了基于MEMS技术的振动传感器弹性梁的设计与应力分析方法。文章针对传感器的结构优化和力学性能进行了深入研究，通过有限元分析方法对弹性梁在不同载荷下的应力分布进行模拟，为提高传感器灵敏度和可靠性提供了理论依据和技术支持。

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振动传感器弹性梁MEMS结构设计及应力分析 - 第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

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传感器, 学术会议, 应力, 结构设计, 元件

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