多功能螯合剂多羟多胺在IC多层布线平坦化中的特殊作用 - 中国工程院化工、冶金与材料工程学部第九届学术会议.pdf

论文《多功能螯合剂多羟多胺在IC多层布线平坦化中的特殊作用》探讨了多羟多胺作为螯合剂在集成电路制造中的应用。该研究针对多层布线过程中的平坦化难题，分析了多羟多胺的螯合特性及其对表面形貌的改善效果，为提高芯片制造精度提供了新思路。

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多功能螯合剂多羟多胺在IC多层布线平坦化中的特殊作用 - 中国工程院化工、冶金与材料工程学部第九届学术会议.pdf

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